IXION 193 SLM是一款單頻全固態(tài)激光系統(tǒng)，應用于光學計量、193 nm步進光學校準或高功率ArF準分子激光器的帶寬控制等領域。小于80 MHz的光譜帶寬接近其理論傅里葉極限。 該系統(tǒng)的中心波長可定制，范圍在185至194 nm之間，并可在訂購時配置為固定波長。 該系統(tǒng)還可以集成一臺絕對光譜精度為0.001 nm的高精度光譜儀（額外選購）。這使得對激光光譜調諧的控制具有更大的精度。 產(chǎn)品參數(shù)：
可選附件：
應用領域：
典型性能：
波長穩(wěn)定性
光斑圖像
光譜特性
長時間穩(wěn)定性測試 產(chǎn)品尺寸：
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